由于技术原因和制造工序的复杂程度高，集成电路制造是对洁净度整体要求高的行业。集成电路由于技术的复杂程度与日俱增，对于空气洁净度的要求也越来越高，重要工艺区需保持1-4级的洁净度。而其他大部分行业比如食品制造，药品，医学等行业对洁净度的要求大多在5-9级，远低于集成电路和新型显示对洁净度的要求。随着技术的进步，集成电路对洁净度的要求越来越高。
为了达到洁净室的功能目的与制造过程设备支持以及系统动力需求、人员操作安全等，在洁净室的建造过程中，除了厂房的主体结构施工外，还有洁净建筑装饰施工、净化空调系统及其风管、过滤器的施工安装、高纯水系统及其管线的安装、高纯气体系统（含特种气体供应等）及其管线安装、真空系统及其管线的安装、化学品供应系统及其管线的安装、各种排风和排气系统及其处理设备的安装、消防安全报警系统及其控制设备的安装、变配电、电气系统及其桥架、配管配线的安装、照明系统及灯具的安装、防微振装置的安装、生产工艺设备及其配管配线的安装等。
洁净系统方案：系统流程：新风经过滤后与回风混合，进入风冷空调机，通过中效过滤器，经末端低阻力高效过滤器后将符合温湿度、洁净度要求的空气送入洁净室。气流组织：1万级间全部采用上送两侧回风，车间内利用柱位、侧墙做技术夹层回风道，接回风管道至空气处理机组。空气经粗、中高三级过滤器和温湿度处理后送入净房。新风系统进行组、中、二级过滤，以确保空气的含尘浓度较低，减少外部尘源影响，提高洁净室的净化效果，并大大延长高效过滤器的使用寿命，减少运行维护费用。新风量根据人员卫生新风要求(每人新风量＞35m³/h)，并保证洁净室内正压的要求经计算确定。(人员在20人以内)。系统排风：有设备排风及工艺要求的房间排风，此系统由甲方确定方案。
在线客服
15762975333
sdqljh@126.com
